РАБОТА С ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫМИ ВАКУУМНЫМИ НАСОСАМИ

КАК РАБОТАЕТ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС?

Турбомолекулярные насосы (ТМН) представляют собой кинетические вакуумные насосы, которые работают с использованием очень быстро вращающегося ротора (обычно вращающегося со скоростью от 24 000 до 90 000 об/мин). Их типичные рабочие давления находятся в диапазоне от высокого до сверхвысокого давления от 10 -3 до 10 -11 мбар при скорости откачки от 10 до 4000 л/с.

Турбомолекулярные вакуумные насосы работают по принципу, согласно которому молекулы газа при ударе о твердую поверхность будут двигаться в определенном или преднамеренно смещенном направлении. В этом случае твердая поверхность представляет собой вращающуюся внутри камеры лопатку турбинного типа. Рабочие части аналогичны многолопастной турбине с лопатками по всей длине вала.

НАСОСНЫЕ МЕХАНИЗМЫ

Существует два основных типа ТМН: «классический», который содержит только турбомолекулярную ступень откачки (состоит из ряда ступеней ротора и статора), и вариант «широкого диапазона», который содержит как турбомолекулярную ступень откачки, так и составную ступень откачки; TMP с «широким диапазоном» может обеспечить значительно повышенное давление на выходе до нескольких мбар и, таким образом, может использоваться в сочетании с небольшими форвакуумными насосами, такими как диафрагменные насосы. Преимущества «классической» конструкции ротора заключаются в том, что эти ТМР могут работать с более высоким расходом газа и могут выдерживать более жесткие условия процесса (например, частицы или пыль).

На приведенном выше рисунке показано, как работает каждый механизм в зависимости от его производительности насоса, которая в первую очередь зависит от конкретных конструктивных параметров каждой концепции, таких как количество ступеней, зазоры и т. д. В целом, механизм Холвека является наиболее эффективным с точки зрения производительности насоса. зрения, в то время как конструкция Gaede и Siegbahn более компактна.

Оставьте ответ

Ваш адрес email не будет опубликован.